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                                    Product Name:
                                   
                                  
                                
                                    
MR系列非加熱插槽蝶泳閥門MEGATORR株式會社

                                                            
                                
                            

                            
                            
							
                            

                                
								
                            

                            
                        
 
                        

                            

								
                                

                                    
                                    

                                        
























                                        
                                        

                                        
                                    

                                    
                                    
                                    

                                        

                                            

                                                Product Name:
                                                
MR系列非加熱插槽蝶泳閥門MEGATORR株式會社

                                            

                                            
上市日期：2020-05-14

                                        

                                        
                                    

                                    
                                    
                                        

                                            
                                                
                                                Product Type:
                                                
                                            
                                            
                                                
                                            
                                            
                                        

                                        
                                        
                                        

                                          
                                            
 
                                                
品牌：MEGATORR株式會社
名稱：非加熱插槽蝶泳閥門
型號：MR系列

                                            

                                          
                                        
                                        

                                        
                                        
                                          

                                               
                                                     
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                                                    說明
                                                
                                            
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                                                    參數配置
                                                
                                            
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非加熱插槽蝶泳閥門MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605 
通過閥部0～90°可變來進行真空壓力控制的節流閥。
各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快速響應。
通過與AP系列控制器/電容計并用，可以在半導體等工藝中獲得高速響應、真空壓力控制。
MR系列非加熱插槽蝶泳閥門MEGATORR株式會社

                                        

                                        

                                            
                                        

                                        

                                             
品牌：MEGATORR株式會社
名稱：非加熱插槽蝶泳閥門
型號：MR系列

                                        

                                        

                                           
MR系列非加熱插槽蝶泳閥門MEGATORR株式會社

                                        

                                        

                                            
                                        

                                    

                                    
                                    
                                
    
                                
                                
                                           

                                               
                                               
                                                       

                                                           

                                                               
                                                           

                                                           

                                                               
                                                                    
                                                               
                                                               
                                                                   
                                                                    
                                                                   
                                                               
                                                           

                                                           

                                                       

                                                   
                                               
                                               
                                           

                                             
                                           


    
    

        

            
            
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