品牌:MEGATORR株式會社
名稱:逆流防止閥
型號:M-NW50
逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H
安裝在真空排氣泵上部,是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中產生的反應產物和粉塵在Chamber內和排氣系統中累積過程中如果泵緊急停止的話,會引起Chamber內粉塵的飛揚和管道等造成的Chamber內產品污染。通過使用Chamber防護,在停止泵時,通過瞬間切斷排氣系統,防止粉塵逆流,保護產品不受污染。
粵公網安備 44030502001236號